微弱力测量装置
FMS-EM微弱力测量装置是配合纳米机械手使用的，可以扩展纳米机械手的应用领域，力的反馈不需要激光，而可以直接从外部的控制器面板上读取，同时有控制器配有喇叭，用户可以通过声音的不同反馈感知材料的不同特性。硅探针可以在材料上进行纳米压痕。
FMS-EM微弱力的测量是通过探针悬臂梁上的压阻材料来实现的，当探针接触样品时悬臂梁会弯曲变形，压阻材料的电阻会发生变化，样品、探针悬臂和MM3A机械手形成电的回路，在此回路上加上电压，就可以建立电阻和电压变化的关系。
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2 FMT 120 传感器 |
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Tip Force Constant(Calculation) 探针力常数（计算） |
30-40N/m |
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Maximum Tip Force 最大探针力 (This value is calculated with assumptive deflection Of 10% and an average of force constant) |
360μN |
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Sensor Resistance 传感器电阻 |
500-650Ω |
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Sensor Sensitivity 传感器灵敏度 (This value depends on bias voltage Vbridge that is Applied to series resistence of sensor and reference |
18.8 x 10-3 mV/nm at Vbridge=2.5V |
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Length 探针长度 |
120µm |
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Width 探针宽度 |
50µm |
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Height 探针高度 |
4-5µm |
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Tip Radius 针尖半径 |
<20nm |
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Tip Height 针尖高度 |
>5µm |
