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XYZ-12830高精度闭环平移样品台

XYZ平移样品台可用于真空、大气及超高真空中,它的设计是为了增强操纵的精度以及扫描电镜标准样品台的功能。 且它是一款经济实惠且技术优良,可以替代激光干涉仪样品台。它是特别为激光刻蚀、细胞计数以及失效分析等应用而制作的。含有两个位置精度编码器用于偏差补偿。

 

步进分辨率0.5nm, 重复精度50nm

 

Technical specifications

Length 128 mm

Width 128 mm

Height 16 mm

Weight 520 g

Travel XY 28.5 mm

Speed up to 2 mm/s

Resolution < 0.5 nm

Repeatability 50 nm

Angular deviation < 1 µrad

Load 500 g

Temperature range 273 K to 353 K

UHV version 273 K to 393 K

Lowest pressure 10 -7 mbar

UHV version 2 × 10 -10 mbar

Substage mounting 4 × 3.2 mm holes

Sample mounting Clip or 2 × M3 holes

Material Stainless steel

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