XYZ-12830高精度闭环平移样品台
XYZ平移样品台可用于真空、大气及超高真空中,它的设计是为了增强操纵的精度以及扫描电镜标准样品台的功能。 且它是一款经济实惠且技术优良,可以替代激光干涉仪样品台。它是特别为激光刻蚀、细胞计数以及失效分析等应用而制作的。含有两个位置精度编码器用于偏差补偿。
步进分辨率0.5nm, 重复精度50nm
Technical specifications
Length 128 mm
Width 128 mm
Height 16 mm
Weight 520 g
Travel XY 28.5 mm
Speed up to 2 mm/s
Resolution < 0.5 nm
Repeatability 50 nm
Angular deviation < 1 µrad
Load 500 g
Temperature range 273 K to 353 K
UHV version 273 K to 393 K
Lowest pressure 10 -7 mbar
UHV version 2 × 10 -10 mbar
Substage mounting 4 × 3.2 mm holes
Sample mounting Clip or 2 × M3 holes
Material Stainless steel