E5AT 压电陶瓷五轴台
E5AT台可以倾转±90度，一款特别设计的五轴定位工具，同时可以在保持感兴趣区域优对称中心位置不变的情况下，无限度旋转。此装置由一个安装在倾转平台上的小的四轴子台构成。子台在XY方向的移动范围为10mm，Z方向的移动范围为3mm。此外，旋转轴可以让样品360度无限旋转。倾转平台配有一个位置解码器，分辨率为0.1度。
应用：
电子通道衬度成像（ECCI）
电子背散射层析成像（EBSD Tomography）
任何需要优对称中心放置样品的应用
技术参数
X 和 Y 的移动距离 10 mm
Z 的移动距离 3 mm
R 旋转角度 360度 (无限)
T 倾转 +-90度，带编码器
- 绝对准确度 < 0.2度(3x10-3 rad)
- 重复性 < 0.03度(4x10-4 rad)
分辨率
- 直线轴 < 0.5 nm
- 转动轴 < 6x10-6 deg (10-7 rad)
速度可达 1 mm/s
飘移 1.5 nm/min
直角坐标移动
无后座力和反转
一次驱动粗调和细调的位移
几乎不受震动的影响
