RT-STEM Rotational Axis(旋转轴)
RT-STEM 是一个独立的旋转轴,用于与 MM3A-EM 微纳米操纵机械手一起使用。它通过提供第四自由度来增强系统,这是许多 SEM 和 FIB 应用程序所需要的。一个 TEM载网架或者一个更大的样本可以插入到轴中,每步旋转分辨率为10-7弧度,使得像真正的 FIB车床铣削,断层扫描和STEM这样的应用可以轻松进行。您现有的 MM3A-EM微纳米操纵机械手系统,可以快速和容易地升级使用 RT-STEM。
Applications
ƒ Nanomanipulation
ƒ STEM
ƒ Backside milling
ƒ FIB lathe milling
ƒ Tomography
ƒ EFTEM, 3D & high-res mapping
Technical specifications
ƒ Height 25.5 mm
ƒ Width 15 mm
ƒ Length 18.6 mm
ƒ Weight 18 g
ƒ Travel 360° unlimited
ƒ Speed up to 0.6 rad/s
ƒ Resolution 10-7 rad
ƒ Holding torque 3 to 4 Nmm
ƒ Temperature range 273 K to 353 K
ƒ Lowest pressure 10-7 mbar
ƒ Housing mounting M4 hole