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EBIC 放大器

我们易于使用的 EBIC 放大器能够使用多种分析方法，包括 RCI，EBAC，EBIV 和 EBRCH。EBIC 放大器与一个或两个MM3A-EMs微纳米操纵仪一起工作，配备微弱电流测量屏蔽套工具(LCMK-EM)或 将MM4型微纳米操纵仪集成到我们的探针穿梭平台之上。

该系统连接到显微镜的视频输入端，主要应用是集成电路的开放检测、 p-n 结的可视化以及通过一系列的电阻率变化的定位，但该工具也可用于任何需要精确测量低电流的应用。

 

应 用

非破坏性失效分析

集成电路中的开放检测

P-n 结的可视化

电阻率变化定位

操作模式

- 电子束诱导电流

-电子束吸收电流

- 电阻衬度成像

- 电子束诱导电压

- 电子束诱导的电阻变化

 

技术参数

电流测量极限 10 fA

增益 105 to 1012 V/A

视频输出 1 V / 50 欧姆

带宽高达 400 kHz

外部电压输入(三同轴)

大偏移范围

交流和直流放大模式

输入电流补偿

定量 EBIC/EBAC

像反转模式

 

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